半自動晶圓盒/晶舟盒清洗機

（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）

適用場景：在密閉的空間用DIW對Foup進行清洗和干燥

設備特點：

1、清洗對象：12寸FOUP

2、設備主要構成：清洗腔、真空腔、自動充N2、上下料口、6軸機械手等機構組成

3、清洗能力：24只FOUP/小時（依配置的清洗腔中真空腔數量而定）

4、干進干出；

5、可與AMHS對接、可人工上料；

6、FOUP本體和Cover自動分離和清洗；

7、Chamber具備DIW噴淋、甩干以及真空+IR干燥功能；

8、可預設多條Recipe,操作簡潔；

9、選配SECS/GEM接口；

10、實時記錄生產數據，多種數據分析功能；

11、可實現工件數據追溯，具有過點信息、狀態監控、故障匯總、訂單下發等功能12、設備外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm我司設備結構穩固，性能可靠，是你的生產好幫手！山東半自動片盒清洗機出廠價

輔助功能和操作控制

觸摸屏安裝在前面一標準化

也可以通過安裝第二個觸摸屏在背面進行控制一選項

其他特征

工藝腔室內LED燈光照明

可安裝去靜電裝置和電陽率監測裝置選項

穩定、亞光不銹鋼籠子

材料的外殼一可選擇符合FM4910標準

PP材料的工藝腔室一可選擇符合FM4910標準

設備前面帶有滑動門一標準化為手動/可選擇自動

設備前面的滑動門在做維護時可完全打開

其他種類的花籃和片盒相適應的組件一選項圖形化的界面

易于操作和控制

10“觸摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口

江西半自動FOUP清洗機現貨芯夢設備配備快速調整功能，適應不同使用場景！

FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）清洗設備是用于清洗和處理半導體制造中使用的FOUP（前開式統一載具）的設備。FOUP是一種用于運輸和儲存半導體晶圓的載具，通常由塑料材料制成，具有前開式設計和統一的尺寸標準。FOUP清洗設備的作用是將FOUP清洗干凈，去除表面的污染物和顆粒，以確保在半導體制造過程中使用的晶圓始終保持良好的潔凈度。FOUP清洗設備通常具有以下主要組成部分：清洗艙：清洗艙是FOUP放置和清洗的區域。它通常包括一個容納FOUP的托盤或夾具，并配備噴淋裝置、超聲波清洗器、噴氣裝置等清洗裝置。氣流系統：氣流系統用于提供潔凈的氣流環境，以防止新的顆粒進入FOUP。它通常包括高效過濾器和空氣凈化系統，以確保提供高質量的潔凈氣氛。控制系統：控制系統用于監控和控制清洗設備的運行。它包括傳感器、執行器和計算機控制單元，用于監測和調節清洗過程中的溫度、壓力、時間等參數。水處理系統：水處理系統用于提供清潔的水源，用于清洗FOUP。它通常包括反滲透系統、離子交換器和過濾器，以去除水中的離子、顆粒和有機物。

FC-H300清洗機應用領域:主要應用于半導體行業《晶圓制造、集成電路、先進封裝，整個芯片濕法制程階段均適用)、化合物行業、片盒制造廠。

FC-H300清洗機適用于:Shippingboxes,如SEP、Integris、KakizakiDainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產品，可定制清洗從50mm到300mm晶圓盒材料

FC-H300清洗機優點：

超聲工藝設計，提供品圓盒(FOUP)清潔等級；

清洗操作方便，實現LOAD-UNLOAD全自動過程控制；

電子級的PP/PVDF/316L等材料緊湊型美觀設計低：

COO：

可靠性高：

優點使用壽命:

標準10年：

選擇芯夢設備，讓你的生產更加智能化、自動化！

對于晶圓加工的各個環節而言，清洗工藝都是必不可少的基本工序，隨著芯片制造工藝先進程度的持續提升，對晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高，清洗工序也不斷向精細化發展，而對清洗設備的需求也在相應增加。

當前，國際制造產業的競爭日趨激烈，能否在半導體設備產業上趕超國外，關系著中國信息技術產業的前途。未來，首年科技將繼續肩負國產半導體設備崛起的使命，不斷推陳出新，加速研發新的清洗產品，滿足不同市場需求。與此同時，首年科技也將在晶圓載具、鐵環、光罩傳輸中加大投入，生產更具競爭優勢的設備，助力中國芯片行業做大做強。選擇我司設備，讓你的生產更加智能化、自動化！海南全自動FOUP清洗機哪家便宜

芯夢設備具有高度定制化功能，滿足你不同生產需求！山東半自動片盒清洗機出廠價

提供各種半導體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗，并防止細菌滋生專項研發雙流體旋轉噴射清洗方式，實現超微精密清洗，節能設計;高效干燥技術，AMC化合物去除技術全生產過程實時監控，兼容自動傳輸系統(AMHS);SEMI通訊標準兼容GEM300，符合SEMIS2、S8標準高產量，占地面積設計。

我們的晶圓盒清洗機采用先進的自動化控制技術，能夠自動完成清洗和干燥的過程，無需人工干預。具有高效的清洗和干燥功能，確保晶圓盒表面干凈無塵、干燥無水痕。同時，我們的晶圓盒清洗機具有多種智能功能，能夠自動識別晶圓盒類型，自動調整清洗和干燥的參數，保證清洗和干燥的效果穩定可靠。操作簡單，維護方便，降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機，讓您的晶圓生產更加智能化、自動化！山東半自動片盒清洗機出廠價

江蘇芯夢半導體設備有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的機械及行業設備中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，江蘇芯夢半導體設備供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！

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